SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입…운영 효율·수율 개선

[스마트에프엔=신종모 기자] SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다.  

SK하이닉스는 지난달부터 판옵테스(Panoptes) VM(Virtual Metrology) 소프트웨어 제품을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용한다고 10일 밝혔다. 

Panoptes는 SK하이닉스가 투자한 산업 인공지능(AI) 전문 스타트업 ‘가우스랩스’가 지난해 11월 출시한 가상 계측 AI솔루션이다. 

Panoptes는 그리스 신화에 나오는 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는(the all-seeing) 거인인 ‘판옵테스’에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링 한다는 의미로 해석된다. 

이 솔루션이 우선 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하는 것은 매우 어렵다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막(Thin Film Vapor Deposition) 증착 공정에 Panoptes VM을 도입했다. 이후 Panoptes VM을 통해 분석된 데이터 결괏값을 APC(Advanced Process Control)와 연동 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “SK하이닉스는 가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리(Smart Factory) 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것“이라고 말했다. 

신종모 기자 jmshin@smartfn.co.kr