삼성전자 “파운드리 웨이퍼 결함·폐기 사실 아냐”

지난 24일 파운드리 공정서 웨이퍼 50여장 결함·폐기설 제기

신종모 기자 2024-06-26 11:56:55

삼성전자의 파운드리 사업부에서 '웨이퍼 결함' 발생 논란이 벌어졌다. 이에 대해 삼성전자는 "반도체 제조 과정에서 발생하는 일상적인 수준의 결함으로 생산과 무관하다"고 반박했다.

3나노 파운드리 양산에 참여한 파운드리사업부, 반도체연구소, 글로벌 제조&인프라총괄 주역들이 손가락으로 3을 가리키며 3나노 파운드리 양산을 축하하고 있다. /사진=삼성전자

26일 일부 매체에서, 최근 삼성전자 파운드리 웨이퍼 제조 공장에서 품질에 영향을 미치는 결함이 발생해 수율에 영향을 미치는 차질이 발생했다는 보도가 나왔다. 다만 정확한 피해 규모는 확인되지 않았다.

이번 사고는 지난 24일 공정 과정에서 발생한 것으로 알려졌다. 피해 규모는 웨이퍼 50여장 정도로 우선 파악한 것으로 전해졌다.

이에 삼성전자는 "언급된 (공정 과정에서의) 사고는 전혀 없었다"면서, "반도체 제조 과정에서 웨이퍼 수십 장에 결함이 발생했지만 이는 일상적인 수준"이라고 설명했다.

또한 삼성전자 관계자는 웨이퍼 20만장 폐기 검토에 대해서도 "사고가 발생하지 않은 상황에서 터무니없는 결함·폐기 수치가 언급돼 황당하다"면서 "반도체 생산에는 전혀 차질이 없음을 강하게 말하고 싶다"고 전했다.

신종모 기자 jmshin@smartfn.co.kr